M470第四代掃描探針系統

M470*的平衡了高掃描率、高分辨率和高精度建立了解決空間電化學測量的全新標準。

       出色的性能:

       快速精確的閉環定位系統為帶你花些掃描探針那墨跡研究的需求而特別設計。結合Uniscan堵車的混合型32-bitDAC技術，用戶可以選擇審核實驗研究的佳配置。

       *、靈活的工作平臺:

       系統可提供9種探針技術，使得M470成為靈活的電弧寫掃描探針工作平臺。

M470 定位系統:

       超高分辨率掃描平臺允許更長的行進距離

M470全新一代掃描平臺擠成了更高的分辨率、更長的行進距離以及掃描速率。

新交流掃描（ac-）和間歇接觸（ic-）掃描探針技術，提供壓電為在Z軸方便精確定位，以探表面形貌。

采用20-bitDAC控制壓電范圍以及控制定位到0.09nm，M470增強了重復性、加快了掃描速度、縮短了測試樣品時間，這使得M470可以應用于非穩態系統的研究。

M470產品特征：

? SECM 自動處理曲線
? SECM用戶自定義處理曲線步長變化
? 高分辨讀取
? 手動或自動調節相位
? 傾斜校正
? X或Y曲線相減（5階多項式））
? 2D 或3D快速傅里葉變化
? 試驗探針移動和區域繪圖的自動排序
? 圖形實驗測序引擎（GESE）
? 支持多區域掃描
? 所有實驗多個數據視圖
? 峰值分析

M470技術參數

工作站（所有技術）

掃描范圍（x,y,z）              大于100nm

掃描驅動分辨率                 高0.1nm

閉環定位                           線性零滯后編碼器，直接實時讀出x,z和y位移

軸分辨率（x,y,z）             20nm

大掃描速度                    12.5mm/s

測量分辨率                       32-bit解碼器@高達40MHz

壓電（ic-和ac-掃描探針技術）

振動范圍                          20nm~ 2μm峰與峰之間1nm增量

小振動分辨率                0.12nm(16-bit DAC,4μm)

壓電晶體伸展                   100μm

定位分辨率                      0.09nm(20-bit DAC ,100μm)

機電

掃描前端                         500×420×675mm(H×W×D)

掃描控制單元                  275×450×400mm(H×W×D)

功率 250W